主動(dòng)隔振平臺(tái)設(shè)計(jì)用于承載所有商業(yè)掃描電子顯微鏡（SEMs）、多數(shù)聚焦離子束顯微鏡（FIB）及小型雙光束設(shè)備。SEM-Base VI可以提供升級(jí)版的振動(dòng)隔離性能及更快更強(qiáng)勁的控制器，帶有高級(jí)圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI讓越來(lái)越多的實(shí)驗(yàn)室、工廠可以實(shí)現(xiàn)能夠滿足其關(guān)鍵設(shè)備所要求的地面振動(dòng)水平。
主動(dòng)隔振平臺(tái)采用*串聯(lián)結(jié)構(gòu)，振動(dòng)傳感器測(cè)量的是地面振動(dòng)，不是負(fù)載振動(dòng)。這樣就確保了負(fù)載諧振將不會(huì)限制平臺(tái)的振動(dòng)隔離或者引起不穩(wěn)定性。振動(dòng)傳感器采用低頻慣性速度傳感器，在測(cè)量亞Hz振動(dòng)時(shí)具有大的敏感度。加上TMC*的壓電致動(dòng)技術(shù)，SEM-Base VI即使在振動(dòng)情況已經(jīng)很好的地面上也可以實(shí)現(xiàn)超高水平的振動(dòng)消除。
相比于之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振動(dòng)隔離能力平均來(lái)說(shuō)增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式雙核處理器，為設(shè)備擁有者及研究者提供非常簡(jiǎn)單易于使用的圖形用戶界面，可以快速進(jìn)入系統(tǒng)并實(shí)現(xiàn)平和的操作心態(tài)。當(dāng)通過(guò)Ethernet連接時(shí)，DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實(shí)現(xiàn)SEM-Base圖形用戶界面，無(wú)需額外安裝軟件或者應(yīng)用程序。當(dāng)然用戶也可以通過(guò)控制器的板載式菜單驅(qū)動(dòng)液晶屏（LCD）直接進(jìn)行控制。
1、主動(dòng)慣性振動(dòng)消除：采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也可以達(dá)到高水平的振動(dòng)衰減。
2、硬式裝載技術(shù)：兼容 SEM 內(nèi)部預(yù)裝的任何隔振系統(tǒng)， 從 0.6Hz 開(kāi)始主動(dòng)強(qiáng)力消減地面低頻振動(dòng)。
3、*集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì)：設(shè)計(jì)與制造的集成化，將安裝平臺(tái)的工作簡(jiǎn)化到了，簡(jiǎn)單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。
4、串行設(shè)計(jì)與壓電技術(shù)：*串行設(shè)計(jì)加上高強(qiáng)度壓電專(zhuān)利技術(shù)，SEM-Base VI不但達(dá)到了寬至0.6Hz-150Hz的主動(dòng)帶寬，更實(shí)現(xiàn)了的慣性主動(dòng)振動(dòng)消除，2Hz以上的振動(dòng)衰減可達(dá)90%以上。
